Evo3 all in one (всё в одном)

Установка Evo 3A – самая крупная среди устройств типа «всё в одном»: 90 x 120 мм. В установку также включена отдельная секция предварительного вымывания для цифровых пластин с чёрным масочным слоем (LAMS), функционирующая как поточная линия (предварительное вымывание / вымывание / очистка / протирание).

ОСНОВНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ СЕКЦИЙ:

СЕКЦИЯ ЭКСПОНИРОВАНИЯ:

• Новая система охлаждения с циркуляцией воды
• Равномерно распределяемая, постоянная температура без ограничения по времени экспонирования
• Вакуумная система для аналогового экспонирования пластин
• Датчик контроля температуры
• Плотное размещение ламп спектра UVA, обеспечивающее плотность излучения 30 мВт/см²
• Экспозиметр
• Система охлаждения ламп воздушным потоком с контролем температуры
• Оптоволоконная система управления лампами

СЕКЦИЯ ВЫМЫВАНИЯ:

• Качающийся держатель пластин для удобства загрузки и разгрузки пластин
• Отдельная секция предварительного вымывания для цифровых пластин, использование которой предотвращает попадание черного слоя в раствор для основного вымывания.
• Поточная вымывная система с фронтальной загрузкой и выгрузкой пластин
• Новая вымывная система с двойным движением щёток, обеспечивающая значительное сокращение времени вымывания (от 5 до 10 мин, в зависимости от толщины пластин)
• Система сервопривода двигателя, обеспечивающая постоянную, контролируемую скорость вымывания
• Высокоточный анализатор содержания сухого вещества с новым объёмным насосом и чувствительным датчиком давления позволяет точно определять % содержания полимера
• Автоматическая система пополнения раствора
• Программируемый по времени регулятор расхода чистого раствора в течение срока службы установки
• Опция регулирования потока чистого раствора с сенсорного экрана
• Постоянная температура раствора, поддерживаемая циркуляцией воды в змеевике

СЕКЦИЯ СУШКИ:

• 4 герметичных ящика, предотвращающих утечку паров
• Температура сушки достигается за очень короткое время благодаря новой системе генерации и циркуляции горячего воздуха
• Автоматическая система предварительного нагрева
• Возможность автоматического выключения
• Оптимальная равномерность распределения температуры благодаря двум отдельным интерфейсам контроля температуры
• Новая конструкция системы всасывания воздуха, обеспечивающая более быструю сушку пластин

СЕКЦИЯ СВЕТОВОГО ФИНИШИНГА:

• Автоматическое комбинированное пост-экспонирование лампами UVA-UVC (одновременное / последовательное / с задержкой)
• Система охлаждения воздушным потоком
• Оптоволоконная система управления лампами

ДРУГИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ:

• Программируемый автоматический нагрев раствора и сушки
• Автоматический переход в режим ожидания после обработки последней пластины
• Удаленный доступ
• Отображение действующего блока в процессе обработки
• Функция ручного режима для использования блоков установки по отдельности
• Сохранение параметров обработки пластин (до 24 каналов)